装置動画1




洗浄装置の動画です。

  • 1、カーボンファイバー製の25枚HANDスカラロボットがロードポートの25枚ウェハーを取出し
  • 2、25枚ウェハーマッピング
  • 3、50枚ハーフピッチ後90°展開 垂直トランスファーから洗浄槽へ
  • 4、50枚ロボット槽間搬送
ページ上部へ戻る