沿革


●1971年 7月
  空気洗浄機、ドラフト・チャンバー等の設計生産を目的に、荒川区尾久に、有限会社エコー技研を設立。

●1987年 7月
  倉敷紡績株式会社の子会社としてエコー技研株式会社を設立し、有限会社エコー技研の長年の経験と
  技術をさらに発展・強化すべく事業の全てを掲揚し、新たに発足する。

●1988年 7月
  昭島市に工場を新設し、主として半導体関連の自動洗浄装置を主要商品として、設計・製作・販売
  を行う。

●1990年 2月
  設計の制度向上、迅速化、効率化を目的としてCADシステムを導入。

●1995年 11月
  事業拡張のため青梅市新町へ本社・工場を移転。

●1996年 1月
  事業拡張にともない、新製品開発を目的とした研究開発グループを発足。

●2007年 3月
  クリーンルーム改修。

●2007年 11月
  ISO14001:2004認証取得。

●2011年 7月
  450mmウェハー洗浄装置初出荷。

●2014年 4月
  社内サーバー最新OSへ再構築・社内LANシステム更新。

以下はウェハー口径の変遷です。 弊社の沿革もウェハー口径変遷と共に歩んできており
450mmウェハーの時代到来も間近です。


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