製品情報

製品ラインナップ 
  • 200mmEP洗浄装置
  • 200mm炉前洗浄装置
  • 200mmバックシール洗浄装置
  • 200mmPRE洗浄装置
  • 200mmFINAL洗浄装置
  • 300mmPRE洗浄装置
  • 300mmPOSTPOLISH洗浄装置
  • 300mmPOSTDSP洗浄装置
  • 300mmエピ前後洗浄装置
  • 300mmFINAL洗浄装置
  • 450mmPRE洗浄装置
  • 450mmFINAL洗浄装置
  • 各種薬液供給ユニット(NH4OH, H2O2, HCl, HF 等)
  • ケミカライザー
シリコンウェハー洗浄装置 
 洗浄装置の設計・製造・据付業務は、弊社主力の営業内容です。

150mm,200mm,300mm,プラス次世代の450mm洗浄装置まで幅広く対応しております。

特に300mmウェハー洗浄装置は世界の多数のシリコンウェハーメーカーにファイナル洗浄装置を納入して最高の実績を持っております。

ウェハー間ピッチ5mmで25枚+25枚を50枚にて洗浄する処理技術は当社の特殊技術でもあります。

SECS上位通信(GEM,GEM300対応)・SMIF・AGV&STOCKER・OHTとのP&P連携対応。

薬液処理パーティクルに関する各種問題を確実に解決します。

乾燥装置はS/DもIPAも使用しない当社独自の乾燥装置を提案します。

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