150mm,200mm,300mmプラス次世代の450mm洗浄装置まで幅広く対応しております。
用途に応じたケミカライザーをご用意しております。
ウェハー間ピッチ5mmで25枚+25枚が対応可能。
テフロン製チャック50枚ハーフピッチ搬送。
2020.10.21
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