私たちエコー技研は、高品質の製品を創造・提供するとともに、 安全衛生と環境にやさしい洗浄技術を追求し、「お客様に信頼され満足していただける」 をモットーに洗浄技術を進歩・発展し続けてまいります。
1nm/2nmナノの世界へ研究開発を行い顧客への製造プロセスラインへ提供してまいります。

ナノのレベルで最高ウェハーをキレイにする洗浄装置です。 ナノのゴミでもプロセス工程では大きなゴミ。決して肉眼では見えません。 微細化し続けるシリコンウェハーの限界へ顧客とともに挑戦しております。 最高レベルの装置を世界中のウェハーメーカーへ提供します。
当社のファイナル洗浄装置はベアウェハー製造プロセスの最終工程で貢献し続けております。

昨今の半導体微細化に伴い、半導体製造の各種工程に使用するフィルターもより高い清浄度が求められています。 私たちはお客様の様々なご要望にお応えし、高度なフィルター洗浄が実現可能な専用装置をご提案します。

ハカルで未来を創る
光吸収式　インライン設計　だから強い
ChemicAlyzerは光の吸収原理を応用した、インライン設計による連続測定を実現した液体成分用濃度計です。
赤外式液体成分濃度計のパイオニアとして事業を開始した1990年以降、豊富なノウハウと技術を武器に、進化し続ける半導体デバイスの製造プロセスにおいて、“計測ニーズに呼応”することで品質や薬液濃度管理を支えてきました。
これからも最先端プロセスや特殊薬液にフレキシブルに対応し、高精度な薬液濃度測定を通して、 “さらに一歩先の計測ニーズに呼応”することで製造プロセスの最適化に貢献し続けていきます。