ピックアップ

• 洗浄装置

  150mm,200mm,300mmプラス次世代の450mm洗浄装置まで幅広く対応しております。

• ケミカライザー

  用途に応じたケミカライザーをご用意しております。

• 会社概要

• 洗浄装置動画１

  ウェハー間ピッチ５ｍｍで２５枚＋２５枚が対応可能。

• 洗浄装置動画２

  テフロン製チャック５０枚ハーフピッチ搬送。

• 特許技術