洗浄装置の設計・製造・据付業務は、弊社主力の営業内容です。
主力の300mmは元より、150mm,200mm,プラス450mmまで幅広く対応しております。
特に300mmウェハー洗浄装置は世界の多数のシリコンウェハーメーカーにファイナル洗浄装置を納入して最高の実績を持っております。
ウェハー間ピッチ5mmで25枚＋25枚を50枚にて洗浄する処理技術は当社の特殊技術でもあります。
SECS上位通信（GEM,GEM300対応）・SMIF・AGV＆STOCKER･OHTとのP＆P連携対応。
薬液処理・パーティクル・重金属・有機物に関する各種問題を確実に解決します。
乾燥装置はS/DもIPAも使用しない当社独自の乾燥装置を提案します。