• 200mm EP洗涤设备
• 200mm 炉前洗涤设备
• 200mm 氧化矽膜涂布后洗涤设备
• 200mm PRE 洗涤设备
• 200mm FINAL 洗涤设备
• 300mm PRE 洗涤设备
• 300mm POSTPOLISH洗涤设备
• 300mm POSTDSP洗涤设备
• 300mm 外延前/后洗涤设备
• 300mm FINAL洗涤设备
• 450mm PRE洗涤设备　
• 450mm FINAL洗涤设备　
• 各种药液供给装置(NH4OH,H2O2,HCL,HF等)
• 成分浓度计

可提供150mm,200mm, 300mm,到肩负下一代的450mm晶片的洗涤设备。
特别是300mm晶片洗涤设备,如FINAL洗涤设备，我司已有许多各国的半导体顾客，拥有相当多的出货实绩。

晶片间螺距5mm， 25张＋25张（一共50张）的洗涤处理技术是我们的独创。

SECS的上位通信(对应GEM 和 GEM300) ・ SMIF ・ AGV&STOCKER ･ OHT可与P&P联系。
确实解决关于液体处理・微小尘埃（粒子）等,各种问题。

提供不使用S/D和IPA, 我司独创的干燥装置。

• 放映显示我司洗涤设备的图像一览